1、常用非接触测厚仪主要为激光测厚仪和电涡流测厚仪 ，顾名思义就是测量仪器与被测物体非接触测量 。
2、接触式测厚仪要为机械式测量的需要通过点与点之间，或面与面后通过位移差来测量厚度。

 薄膜、薄片厚度测试又该如何去选择？
1、非接触式测厚设备对测试试样都有一定的选择性，例如激光式测厚仪在适合的领域中能达到较高的测量精度，但用于检测表面有着不同光泽度的试样时会有较大的测试误差，同样该方法的测厚仪对试样是否透明以及材料表面平整度（薄膜表面看似平整，放大后都是呈现一定凹凸）也有着比较强的选择性。电容或电涡流式的测厚仪对金属及非金属的测试有着较大的误差。总之，非接触式测厚仪都有着自己擅长的检测领域，在薄膜和金属方面测试数据还是不能满足的。

2、机械式测厚仪是一种接触式测厚设备，多采用高精度传感器，因为它的测试只和微小位移有关，所以对试样没有选择性。按照薄膜厚度国标GB/T6672要求测量面必须保证对薄膜材料表面施加0.1N-0.5N负荷压力，机械式测厚仪的测试精度主要取决于位移传感器的精度，环境温度和风速会影响传感器的精度，因此必须在实验室环境内使用。