激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途最为广泛。其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。

　　激光干涉仪是以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

　　采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计，将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开，从而避免了干涉镜受热变形，用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连，从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后，使得干涉镜不受影响，保证了测量准确性。

　　激光干涉仪的主要功能：

　　1、可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

　　2、可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

　　3、可实现龙门机床双轴同步测量；

　　4、可实现对机床回转轴的测量与校准；

　　5、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

　　6、具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

　　7、支持手动或自动进行环境补偿。