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德国EPK代理现货MiniTest 720测厚仪
SIDSP探头
探头 特性 |
F1.5,N0.7,FN1.5 |
F2 |
F5,N2.5,FN5 |
F15 |
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F |
N |
F |
F |
N |
F |
|
测量范围 |
0-1.5mm |
0-0.7mm |
0-2mm |
0-5mm |
0-2.5mm |
0-15mm |
使用范围 |
小工件,薄涂层,跟测量支架一起使用 |
粗糙表面 |
标准探头,使用广泛 |
厚涂层 |
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测量原理 |
磁感应 |
电涡流 |
磁感应 |
磁感应 |
电涡流 |
磁感应 |
信号处理 |
探头内部32位信号处理(SIDSP) |
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度 |
±(1μm+0.75%读值) |
±(1.5μm+0.75%读值) |
±(5μm+0.75%读值) |
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重复性 |
±(0.5μm+0.5%读值) |
±(0.8μm+0.5%读值) |
±(2.5μm+0.5%读值) |
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低端分辨率 |
0.05μm |
0.1μm |
1μm |
|||
小曲率半径(凸) |
1.0mm |
1.5mm |
5mm |
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小曲率半径(凹,外置探头) |
7.5mm |
10mm |
25mm |
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小曲率半径(凹,内置探头) |
30mm |
30mm |
30mm |
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小测量面积 |
Φ5mm |
Φ10mm |
Φ25mm |
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小基体厚度 |
0.3mm |
40μm |
0.5mm |
0.5mm |
40μm |
1mm |
连续模式下测量速度 |
每秒20个读数 |
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单值模式下大测量速度 |
每分钟70个读数 |