德国EPK代理MiniTest 720测厚仪

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SIDSP探头先进技术：

探头特性	F1.5，N0.7，FN1.5		F2	F5，N2.5，FN5		F15
	F	N	F	F	N	F
测量范围	0-1.5mm	0-0.7mm	0-2mm	0-5mm	0-2.5mm	0-15mm
使用范围	小工件，薄涂层，跟测量支架一起使用		粗糙表面	标准探头，使用广泛		厚涂层
测量原理	磁感应	电涡流	磁感应	磁感应	电涡流	磁感应
信号处理	探头内部32位信号处理（SIDSP）
度	±（1μm+0.75%读值）		±（1.5μm+0.75%读值）			±（5μm+0.75%读值）
重复性	±（0.5μm+0.5%读值）		±（0.8μm+0.5%读值）			±（2.5μm+0.5%读值）
低端分辨率	0.05μm		0.1μm			1μm
zui小曲率半径（凸）	1.0mm		1.5mm			5mm
zui小曲率半径（凹，外置探头）	7.5mm		10mm			25mm
zui小曲率半径（凹，内置探头）	30mm		30mm			30mm
zui小测量面积	Φ5mm		Φ10mm			Φ25mm
zui小基体厚度	0.3mm	40μm	0.5mm	0.5mm	40μm	1mm
连续模式下测量速度	每秒20个读数
单值模式下zui大测量速度	每分钟70个读数